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工業(yè)廠房潔凈度檢測方法

發(fā)布時間：2021-11-24 246

　　伴隨著人類物質(zhì)生活的不斷改善，潔凈技術(shù)越來越多地被應(yīng)用于在生產(chǎn)生活中，它被廣泛應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體和精密機(jī)械等對環(huán)境有很高要求的工業(yè)制造行業(yè)。對于潔凈室的各項性能指標(biāo)都有非常明確、嚴(yán)格的要求，不一樣的設(shè)備、工藝、安裝水平對總的效能都有不同的影響，對此就需要工程完工后進(jìn)行嚴(yán)格的竣工驗(yàn)收和測試，來檢驗(yàn)是否達(dá)到要求，以便滿足生產(chǎn)環(huán)境要求。

　　廠房潔凈度檢測項目主要包括：風(fēng)量、靜壓差、潔凈度、室內(nèi)溫度、相對濕度、噪聲、室內(nèi)照度和均勻度的測試。本文就以上常規(guī)檢測項目進(jìn)行簡單介紹。

　　1、測試前準(zhǔn)備工作

　　(1）測試工作在系統(tǒng)調(diào)整好并運(yùn)行至少24小時之后進(jìn)行；

　　(2）所測試的潔凈室和凈化系統(tǒng)應(yīng)再次全面清掃；

　　(3）測試時，建設(shè)、設(shè)計、施工單位都要在場配合、協(xié)調(diào)；

　　(4）任何一種測試得出的潔凈度級別，必須注明測試狀態(tài)。

　　2、風(fēng)量測試

　　2.1測試儀器

　　熱球式風(fēng)速儀。

　　2.2風(fēng)量測試準(zhǔn)備

　　在試驗(yàn)前，必須檢查風(fēng)機(jī)運(yùn)行正不正常，系統(tǒng)中各部件安裝正不正確，過濾器干不干凈，所有閥門應(yīng)固定在一定的開啟位置上，并且實(shí)際測量被測風(fēng)口和風(fēng)管尺寸。

　　2.3廠房潔凈度檢測方式與方法

　　對于單向流潔凈室，取離高效過濾器0.3m垂直于氣流處的截面作為采樣截面，截面上測點(diǎn)間距不宜大于0.6m，測點(diǎn)數(shù)應(yīng)大于5點(diǎn)，測點(diǎn)間距不宜大于0.6m。采用室截面平均風(fēng)速與截面乘積的方法確定送風(fēng)量，所有讀數(shù)的算術(shù)平均值。

　　對于亂流潔凈室，應(yīng)直接在送風(fēng)口過濾器下連一長度為2倍以上風(fēng)口大邊長度的直管段，在其出口平面按不少于6點(diǎn)布置測點(diǎn)。采用風(fēng)管法確定送風(fēng)量。

　　按下式計算風(fēng)量：

　　Q=V×F×3600

　　式中：Q為風(fēng)量（m?/h）；V為管道內(nèi)的平均風(fēng)速（m/s）；F為測定截面的凈面積（㎡）。

　　2.4測試中注意事項

　　(1）首先進(jìn)行風(fēng)量風(fēng)速測試，保證被測潔凈室滿足設(shè)計風(fēng)量風(fēng)速條件；

　　(2）測試過程中，最好采用輔助風(fēng)管法，可測的高精度的測量數(shù)據(jù)；

　　(3）一般來說，熱球式風(fēng)速儀宜采用定點(diǎn)法測定，如面風(fēng)速不均勻，應(yīng)增加測量點(diǎn)數(shù)；

　　(4）實(shí)測計算時，風(fēng)口尺寸必須是實(shí)測尺寸。

　　2.5判定標(biāo)準(zhǔn)

　　2.5.1單向流潔凈室

　　(1）實(shí)測室內(nèi)風(fēng)速應(yīng)大于設(shè)計風(fēng)速，在設(shè)計風(fēng)速的1~1.2倍；

　　(2）總實(shí)測新風(fēng)量與設(shè)計新風(fēng)量的差距，不應(yīng)超過設(shè)計新風(fēng)量的±10%；

　　(3）截面風(fēng)速不均勻度≤0.25。

　　2.5.2亂流潔凈室

　　(1）系統(tǒng)實(shí)測風(fēng)量應(yīng)大于各自的設(shè)計風(fēng)量，在設(shè)計風(fēng)速的1~1.2倍；

　　(2）總實(shí)測新風(fēng)量和設(shè)計新風(fēng)量之差，不應(yīng)超過設(shè)計新風(fēng)量的±10%；

　　(3）室內(nèi)各風(fēng)口風(fēng)量和設(shè)計風(fēng)量的差距均不應(yīng)超過設(shè)計風(fēng)量的±15%。

　　3、靜壓力

　　3.1測試儀器

　　微壓計（儀表靈敏度應(yīng)小于1.0Pa)。

　　3.2靜壓差作用

　　為保持潔凈室的潔凈度，使其不受鄰室污染，在潔凈室內(nèi)保持某一個高于鄰室的空氣壓力，是潔凈室區(qū)別于一般空調(diào)房間的重要特點(diǎn)。靜壓差反映的是縫隙的阻力特性。具有兩個作用：

　　(1）在關(guān)閉門窗的情況下，防止?jié)崈羰彝獾奈廴緩目p隙滲入潔凈室內(nèi)；

　　(2）確保當(dāng)門打開時有足夠的氣流向外流動，盡可能減少由人的進(jìn)入的瞬時帶進(jìn)來的氣流量。

　　3.3靜壓差測試方法

　　(1）潔凈室內(nèi)各門全關(guān)閉情況下進(jìn)行測定；

　　(2）從潔凈室高到低的順序逐間進(jìn)行，一直測到直通室外的房間；

　　(3）測定口在0.8m的工作高度，管口軸線與氣流垂直。

　　3.4判定標(biāo)準(zhǔn)

　　(1）相鄰不同級別潔凈室之間及潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差應(yīng)不低于5Pa；

　　(2）潔凈室和室外的靜壓差應(yīng)不低于10Pa；(3）100級及其以上潔凈度的潔凈室，在室內(nèi)距門0.6m處測其含塵濃度不應(yīng)大于其級別上限。

　　4、室內(nèi)潔凈度檢測

　　為了正確評價工程的施工質(zhì)量，應(yīng)對潔凈室潔凈度級別（空態(tài)/靜態(tài)）進(jìn)行檢測。如果測試合格，證明系統(tǒng)施工質(zhì)量達(dá)到設(shè)計要求，具備向建設(shè)單位交工驗(yàn)收的條件。

　　4.1測試儀器

　　塵埃粒子計數(shù)器。

　　4.2廠房潔凈度檢測方法及注意事項

　　(1）塵埃粒子計數(shù)器，粒徑靈敏度為0.3um，測試前必須經(jīng)過標(biāo)定。室內(nèi)測定人員不應(yīng)超過3名，測定時人員必須穿潔凈工作服站在采樣點(diǎn)的下風(fēng)側(cè)靜止不動或微動。

　　(2）測量周期設(shè)成2分鐘以上，測點(diǎn)改變時走動要盡量輕緩。這是為了盡量減少因測試人員的走動或測試儀器的搬動引起周邊空氣非正常擾動的影響。

　　(3）確定最低采樣點(diǎn)數(shù)，按以下公式來取，原則是面積越大，測點(diǎn)越多。單向?qū)恿髦杆惋L(fēng)面面積，亂流指房間面積。當(dāng)潔凈區(qū)只有一處采樣點(diǎn)時，那么在這一點(diǎn)應(yīng)進(jìn)行至少3次。

　　(4）每個采樣點(diǎn)最小采樣量，按下式確定：

　　Vs=20×100/Cn.m

　　式中：Vs為每個采樣點(diǎn)的每次采樣量，單位L；Cn.m為被測潔凈室空氣潔凈度等級的被測粒徑的限值(pc/m3)；20為在規(guī)定被測粒徑粒子的空氣潔凈度等級限值時，粒子顆數(shù)（pc)就可以被測出來。

　　(5）單向流潔凈室采樣口應(yīng)宜對著氣流方向，亂流潔凈室采樣口宜向上。采樣速度均應(yīng)盡可能接近室內(nèi)氣流速度。

　　(6）測點(diǎn)平面布置在距地0.8m高度，測點(diǎn)多時可向上分層布置。

　　(7）對于單向流（層流）潔凈室，測門開啟狀態(tài)下，離門口0.6m的室內(nèi)側(cè)工作面高度的粒子數(shù)。

　　4.3數(shù)據(jù)整理

　　(1）每個測點(diǎn)的數(shù)據(jù)整理最好在測試儀器穩(wěn)定運(yùn)行的條件下連續(xù)三次采樣，取其平均值，即為該點(diǎn)的實(shí)測數(shù)值；

　　(2）空氣潔凈度檢測中，當(dāng)全室測點(diǎn)為2~9點(diǎn)時，一定要計算出每個采樣點(diǎn)的平均粒子濃度C值、所有采樣點(diǎn)的平均粒子濃度N及其標(biāo)準(zhǔn)差，導(dǎo)出95%置信上限值；如果采樣點(diǎn)超過9點(diǎn)時，則可采用算術(shù)平均數(shù)N作為置信上限值。

　　4.4注意事項

　　(1）凈化處理原則：能用局部凈化的場合，就盡可能不用全面凈化；

　　(2）由于潔凈室氣流分布的不均勻和塵粒分布等不均勻性，建議把工藝布置在主流區(qū)內(nèi)；

　　(3）主要工藝可盡量布置于送風(fēng)管上風(fēng)段，上風(fēng)段相對來說，潔凈程度比下風(fēng)段要好。

　　5、溫濕度的測試

　　5.1測試儀器

　　阿斯曼。

　　5.2廠房潔凈度檢測方法及注意事項

　　(1）測試前凈化空調(diào)系統(tǒng)必須連續(xù)正常運(yùn)行至少24小時；

　　(2）測點(diǎn)距地0.8m；

　　(3）測點(diǎn)數(shù)：非恒溫系統(tǒng)室中心1點(diǎn)，恒溫系統(tǒng)不少于5點(diǎn)，點(diǎn)間距不應(yīng)大于2m。

　　6、噪聲的測試

　　6.1測試儀器

　　聲級計和聲壓級校準(zhǔn)器。

　　6.2噪音測試條件

　　(1）生產(chǎn)設(shè)備必須處于正常工作狀態(tài)，并維持運(yùn)行狀態(tài)不變。

　　(2）室外測試時，傳聲器應(yīng)加防風(fēng)罩，風(fēng)速不得大于6m/s。

　　(3）測試過程中，應(yīng)避免或減少振動、電磁場、溫度與濕度等環(huán)境因素的干擾。

　　6.3噪聲測點(diǎn)位置

　　(1）測點(diǎn)上的傳聲器，應(yīng)置于人耳位置高度。傳聲器應(yīng)指向影響較大的聲源，難于判斷聲源方位，則應(yīng)將傳聲器豎直向上。

　　(2）測潔凈室的室內(nèi)噪聲，一般在室內(nèi)局中位置附近選3個測點(diǎn)取其平均值，傳聲器應(yīng)距地面1.2m處，傳聲器應(yīng)指向影響較大的聲源。

　　(3）測潔凈室的室外噪聲，距生產(chǎn)車間建筑物外側(cè)3m~5m，距非生產(chǎn)車間建筑物外側(cè)1m。傳聲器應(yīng)距地面1.2m處，傳聲器應(yīng)指向影響較大的聲源。

　　目前，潔凈技術(shù)還是處于發(fā)展階段，還有許多東西值得我們探討，要想有一個相對比較清晰感性認(rèn)識，這都需要我們在一定理論指導(dǎo)下，通過實(shí)地現(xiàn)場測試，不斷的探討，不斷的總結(jié)經(jīng)驗(yàn)教訓(xùn)。

　　以上就是關(guān)于工業(yè)廠房潔凈度檢測方法的介紹，希望對大家有所幫助。作為擁有嚴(yán)格質(zhì)量管控體系，確保檢測報告的科學(xué)性和權(quán)威性的第三方檢測機(jī)構(gòu)——中科檢測，除了有開展廠房潔凈度檢測以外，還提供鹽霧試驗(yàn)、光伏檢測、毒理檢測等檢測項目，幫助合作伙伴在競爭中保持優(yōu)勢。